Proof
ISO/PRF 25164
Physical vapor deposition coatings — Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films — Specification
Reference number
ISO/PRF 25164
Edition 1
2026-07
© ISO 2026
Proof
Indisponible en français
Projet (Edition 1, 2026)
Projet au stade approbation.

Résumé

This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Date de publication
     : 2026-07
    Stade
    : Epreuve envoyée au secrétariat ou mise au vote du FDIS: 8 semaines [50.20]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107/SC 9
    ICS :
    25.220.40 
  • RSS mises à jour

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9
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