Proof
ISO/PRF 25164
Physical vapor deposition coatings — Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films — Specification
Reference number
ISO/PRF 25164
Edition 1
2026-07
© ISO 2026
Proof
No disponible en español
En desarrollo (Edición 1, 2026)
Este borrador está en fase de aprobación.

Resumen

This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo
    Fecha de publicación
     : 2026-07
    Etapa
    : Envío de la prueba a la secretaría o inicio de la votación del FDIS: 8 semanas [50.20]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 6
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107/SC 9
    ICS :
    25.220.40 
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