International Standard
ISO 19383:2026
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO 19383:2026
Edition 1
2026-06
© ISO 2026
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Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2026)

ISO 19383:2026

Langue
Format
CHF 100
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Résumé

This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2026-06
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS mises à jour

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