International Standard
ISO 19383:2026
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO 19383:2026
Edition 1
2026-06
Preview
ISO 19383:2026
89126
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2026)

ISO 19383:2026

ISO 19383:2026
89126
Язык
Формат
CHF 100

Тезис

This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.

Общая информация

  •  : Опубликовано
     : 2026-06
    : Опубликование международного стандарта [60.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
    25.220.01 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ