International Standard
ISO 19383:2026
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO 19383:2026
Edition 1
2026-06
© ISO 2026
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2026)

ISO 19383:2026

Idioma
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Resumen

This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2026-06
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 13
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS actualizaciones

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