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ISO 23812:2009 Prévisualiser
Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Méthode pour l'étalonnage de la profondeur pour le silicium à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples
Le dernier examen de cette norme date de 2014. Cette édition reste donc d’actualité.
L'ISO 23812:2009 spécifie un mode opératoire permettant l'étalonnage de l'échelle de profondeur dans une région de faible profondeur, inférieure à 50 nm, lors du profilage en profondeur SIMS à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples.
Elle ne s'applique pas à la région transitoire superficielle où la vitesse de pulvérisation n'est pas en régime permanent.
Elle s'applique au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe.
Informations générales
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État actuel : PubliéeDate de publication : 2009-04
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Edition : 1Nombre de pages : 19
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- ICS :
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Méthodes d'analyse chimique
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