ISO 18516:2006

Analyse chimique des surfaces -- Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X -- Détermination de la résolution latérale

L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm.

Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.


Informations générales

  • État actuel :  Annulée
    Date de publication : 2006-11
  • Edition : 1
  • :
    ISO/TC 201/SC 2
    Procédures générales
  • 71.040.40
    Méthodes d'analyse chimique

Cycle de vie

Les normes ISO sont réexaminées tous les cinq ans



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