ISO 18516:2006

Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy -- Determination of lateral resolution

ISO 18516:2006 describes three methods for measuring the lateral resolution achievable in Auger electron spectrometers and X-ray photoelectron spectrometers under defined settings. The straight-edge method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be larger than 1 micrometre. The grid method is suitable if the lateral resolution is expected to be less than 1 micrometre but more than 20 nm. The gold-island method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be smaller than 50 nm.

Annexes A, B and C provide illustrative examples of the measurement of lateral resolution.


Общая информация

  • Текущий статус :  Withdrawn
    Дата публикации : 2006-11
  • Версия : 1
  • :
    ISO/TC 201/SC 2
    General procedures
  • 71.040.40
    Chemical analysis

Жизненны цикл

Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет



Изменения / Исправления

  • В настоящее время отменен
    ISO 18516:2006
  • Пересмотрен
    ISO 18516:2019

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах

 Subscribe