Nouveau projet
ISO/AWI TS 22933
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Méthode pour le mesurage de la résolution en masse dans la SIMS
Numéro de référence
ISO/AWI TS 22933
Edition 2
Nouveau projet
ISO/AWI TS 22933
93350
Rédaction en cours.
Remplacera ISO/TS 22933:2022

Résumé

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

Informations générales

  •  : Projet
    : Nouveau projet approuvé [10.99]
  •  : 2
  • ISO/TC 201/SC 6
  • RSS mises à jour

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