Nuevo proyecto
ISO/AWI TS 22933
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
Reference number
ISO/AWI TS 22933
Edition 2
Nuevo proyecto
ISO/AWI TS 22933
93350
La redacción ha comenzado.
Reemplazará ISO/TS 22933:2022

Resumen

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

Informaciones generales

  •  : En desarrollo
    : Nuevo proyecto aprobado [10.99]
  •  : 2
  • ISO/TC 201/SC 6
  • RSS actualizaciones

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