Reference number
ISO 21466:2019
© ISO 2026
International Standard
ISO 21466:2019
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
Edition 1
2019-12
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2019)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2025. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 21466:2019

Langue
Format
CHF 181
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Résumé

This document specifies the structure model with related parameters, file format and fitting procedure for characterizing critical dimension (CD) values for wafer and photomask by imaging with a critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM) by the model-based library (MBL) method. The method is applicable to linewidth determination for specimen, such as, gate on wafer, photomask, single isolated or dense line feature pattern down to size of 10 nm.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2019-12
    Stade
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS mises à jour

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