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ISO 17560:2014 specifies a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of boron in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth scale calibration. This method is applicable to single-crystal, poly-crystal, or amorphous silicon specimens with boron atomic concentrations between 1 × 1016 atoms/cm3 and 1 × 1020 atoms/cm3, and to crater depths of 50 nm or deeper.


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2014-09
  • Edition : 2
  • :
    ISO/TC 201/SC 6
    Spectrométrie de masse des ions secondaires
  • 71.040.40
    Méthodes d'analyse chimique

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