Reference number
ISO 18114:2021
© ISO 2026
International Standard
ISO 18114:2021
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Edition 2
2021-05
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Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2021)

ISO 18114:2021

Langue
Format
CHF 44
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Résumé

This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2021-05
    Stade
    : Norme internationale en cours d'examen systématique [90.20]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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