Résumé Preview
ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
Informations générales
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État actuel : PubliéeDate de publication : 2016-08
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Edition : 2
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- ICS :
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Matériel optique
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Format | Langue | |
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Papier |
- CHF88
Cycle de vie
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Précédemment
AnnuléeISO 16700:2004
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Actuellement
PubliéeISO 16700:2016
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Stade: 90.60 (En cours d'examen)
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