Résumé
L'ISO 5302:2003 spécifie des méthodes pour le mesurage des caractéristiques fonctionnelles des pompes turbomoléculaires. Elle est applicable à toutes les dimensions et tous les types de pompes turbomoléculaires, avec paliers mécaniques ou magnétiques, et avec ou sans étage supplémentaire à entraînement mécanique.
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État actuel: AnnuléeDate de publication: 2003-07
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Edition: 1Nombre de pages: 15
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- ICS :
- 23.160 Technologie du vide
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