Тезис
This document specifies requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments that are linked to the ISO standard for air cleanliness by chemical concentration (see ISO 14644-8).
This document does not apply to the following:
- health and safety requirements;
- compatibility with cleaning agents and techniques;
- cleanability;
- biocontamination;
- specific requirements of equipment and materials for processes and products;
- design details of equipment.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2026-05Этап: Опубликование международного стандарта [60.60]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 209ICS :13.040.35
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 14644-15:2017
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
