Тезис
This document specifies the design and characteristics of focus variation instruments for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements as well.
This document applies to focus variation without pattern illumination or with fixed pattern illumination. This document does not cover methods using varying pattern illumination during the measurement.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2026-05Этап: Опубликование международного стандарта [60.60]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 213ICS :17.040.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 25178-606:2015
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
