ISO 13083:2015 Предпросмотр

Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

недоступно на русском языке

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Общая информация ^

Текущий статус : Published

Дата публикации : 2015-08
Версия : 1

Число страниц : 14
Технический комитет
:
ISO/TC 201/SC 9

Scanning probe microscopy
ICS :

71.040.40

Chemical analysis

Приобрести данный стандарт

	Формат	Язык
std 1 88	PDF
std 2 88	Бумажный

CHF88

Жизненны цикл

Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет

Изменения / Исправления

Сейчас
ISO 13083:2015

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами

+41 22 749 08 88

customerservice@iso.org

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах