Тезис Предпросмотр
ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.
Общая информация
-
Текущий статус : PublishedДата публикации : 2015-08
-
Версия : 1
-
- ICS :
-
Chemical analysis
Приобрести данный стандарт
| Формат | Язык | |
|---|---|---|
| Бумажный |
- CHF88
Жизненный цикл
Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет
Изменения / Исправления
-
Сейчас на стадии пересмотра
ISO 13083:2015
Появились вопросы?
Ознакомьтесь с FAQ
Работа с клиентами
+41 22 749 08 88
Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)
Будьте в курсе актуальных новостей ИСО
Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах.