Draft
International Standard
ISO/DIS 16887
Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Guidelines for transmission electron microscopy specimen preparation by lift-out method using focused ion beam system
Reference number
ISO/DIS 16887
Edition 1
© ISO 2026
Проект Международный стандарт
Preview
недоступно на русском языке
В стадии разработки
Проект данного международного стандарта находится на этапе рассмотрения членами ИСО.

ISO/DIS 16887

Язык
Формат
CHF 67
* Pасходы на перевозку должны оплачиваться
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

This document provides guidelines on how to prepare reproducible and reliable lamellar specimens using the FIB lift out techniques to observe a micro area of interest in materials using TEM. The main materials recommended for TEM specimens prepared by FIB processing are semiconductor materials such as Si, metals, alloys, and inorganic materials such as ceramics. It is applicable to make TEM specimen of a site specific lamellar by the FIB equipment using Ga-LMIS source, with a stand-alone FIB and a FIB-SEM systems. Since the basic guidelines in the ex situ lift out method are the same as those in the in situ lift out one, this document mainly describe that of the in situ lift out method. The basic concept of the present guidelines is applicable to the guidelines for the automated TEM specimen preparation using FIB fabrication process.

Общая информация

  • Текущий статус
     : В стадии разработки
    Этап
    : Рассылка краткого отчета по итогам голосования [40.60]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 202/SC 3
    ICS :
    71.040.50 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Интернет-магазин
  4. МКС
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.50
  8. ISO/DIS 16887