недоступно на русском языке

Тезис Предпросмотр

This document covers the monitoring of air cleanliness by particles in terms of concentration of airborne nanoscale particles.

For monitoring purposes, only populations of particles with a lower size limit of 0.1 microns (100 nm) or less ? "nanoscale" ? are considered.

The monitoring given in this document is for use mainly in "operational" states.

NOTE 1 For the purposes of this document, reference is made to "nanoscale particles", which means all nano-objects having one (nanoplate), two (nanofibre) or three (nanoparticle) dimensions in the nanoscale.

NOTE 2 As a consequence, the specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration of the cleanroom in operational state also considers process specifics, e.g., used equipment, personnel behaviour, etc.

NOTE 3 Health and safety considerations are excluded from this document.


Общая информация

  • Текущий статус :  Published
    Дата публикации : 2018-08
  • Версия : 1
    Число страниц : 11
  • :
    ISO/TC 209
    Cleanrooms and associated controlled environments
  • 13.040.35
    Cleanrooms and associated controlled environments

Приобрести данный стандарт

Формат Язык
PDF + ePub
Бумажный
  • CHF58

Жизненны цикл

Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет



Изменения / Исправления

  • Сейчас
    ISO 14644-12:2018

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах