недоступно на русском языке

Тезис Предпросмотр

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.


Общая информация

  • Текущий статус :  Published
    Дата публикации : 2015-08
  • Версия : 1
    Число страниц : 14
  • :
    ISO/TC 201/SC 9
    Scanning probe microscopy
  • 71.040.40
    Chemical analysis

Приобрести данный стандарт

Формат Язык
PDF
Бумажный
  • CHF88

Жизненны цикл

Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет



Изменения / Исправления

  • Сейчас
    ISO 13083:2015

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах