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ISO 22493:2014 defines terms used in the practice of scanning electron microscopy (SEM). It covers both general and specific concepts, classified according to their hierarchy in a systematic order, with those terms that have already been defined in ISO 23833 also included, where appropriate.
ISO 22493:2014is applicable to all standardization documents relevant to the practice of SEM. In addition, some clauses of ISO 22493:2014 are applicable to documents relevant to related fields (e.g. EPMA, AEM, EDS) for the definition of terms which are relevant to such fields.
Informations générales
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État actuel : PubliéeDate de publication : 2014-04
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Edition : 2
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- ICS :
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Matériel optique
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Technologie de l'image (Vocabulaires)
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Cycle de vie
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Précédemment
AnnuléeISO 22493:2008
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Actuellement
PubliéeISO 22493:2014
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Stade: 90.60 (En cours d'examen)
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