Resumen
This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.
Informaciones generales
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Estado: En desarrolloFecha de publicación: 2026-07Etapa: Norma Internacional en proceso de publicación [60.00]
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Edición: 1
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Comité Técnico :ISO/TC 107/SC 9ICS :25.220.40
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